في مجال تصنيع أشباه الموصلات ، جنبا إلى جنب مع التحسين المستمر في رقاقة التكامل والحد من عملية العقد ، طرق الكشف التقليدية لا يمكن تلبية متطلبات دقة تحديد ميكرون أو حتى نانومتر العيوب .كاميرا الأشعة تحت الحمراءبسبب اختراق قوي ، على النقيض عالية ، والتكيف مع البيئة المعقدة ، وما إلى ذلك ، أصبحت أداة رئيسية في مجال أشباه الموصلات اختبار ، وتوفير حلول فعالة رقاقة الترابط ، قطع الليزر ، التصوير الحراري وغيرها من الروابط الأساسية .

مبدأ التقنية : المجهر الضوئي اختراق مادة السيليكون

كاميرا الأشعة تحت الحمراء على الموجة القصيرة يمكن التقاط الأشعة تحت الحمراء من 900nm إلى 1700nm الفرقة .

مادة السيليكون عالية النفاذية : السيليكون في 1.2 ميكرون إلى 1.7 ميكرون الفرقة انتقال أكثر من 50 ٪ ، ضوء الأشعة تحت الحمراء على الموجات القصيرة يمكن أن تخترق سطح رقاقة ، مباشرة تصوير الهيكل الداخلي ، في حين أن الضوء المرئي هو الركيزة السيليكون امتصاص .

عيب تشتت الضوء التصوير : رقاقة الداخلية الكراك ، النجاسة أو سوء الترابط في المنطقة يمكن أن يؤدي إلى موجة قصيرة من الأشعة تحت الحمراء ضوء نثر ، حساسية عالية InGaAs أجهزة الاستشعار التقاط شدة الضوء المتناثرة ، يمكن تحقيق دقة تحديد المواقع ميكرون العيوب .

اختراق الليزر قطع التصوير : في رقاقة قطع مرة أخرى ، على الموجة القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء يمكن أن تخترق طبقة الطلاء ، بدلا من التقليدية كاميرا مرئية ، جنبا إلى جنب مع الإضاءة المحورية و مصدر الأشعة تحت الحمراء ، لتحقيق في الوقت الحقيقي رصد وتقييم جودة الليزر قطع الطريق .

تطبيق الأساسية المشهد : من رقاقة الكشف عن إدارة الحرارية

1 . رقاقة الربط عيب الكشف

في 3D التعبئة والتغليف عملية التكامل غير المتجانسة ، عيوب صغيرة من رقاقة طبقة الربط قد يؤدي إلى فشل رقاقة . كاميرا الأشعة تحت الحمراء على الموجة القصيرة يحسن كفاءة الكشف عن طريق :

الكراك و النجاسة الاعتراف : دقة الكشف عن 5 ميكرون ، يمكن العثور على واجهة الترابط نانو الكراك أو تلوث الجسيمات .

قوة الترابط التقييم : من خلال تحليل الموجات القصيرة الأشعة تحت الحمراء صورة رمادية التوزيع الكمي الترابط طبقة التوحيد و قوة الترابط .

تحسين العائد : بعد تطبيق هذه التكنولوجيا من قبل شركة أشباه الموصلات ، العائد من السندات رقاقة هو زيادة من 85 ٪ إلى 98 ٪ ، وتكلفة إنقاذ أكثر من 10 مليون يوان سنويا .

2 . الليزر قطع التصوير و الكشف عن الحافة

في الوقت الحقيقي رصد عمق القطع و نوعية حافة القطع بالليزر غير مرئية . وتشمل مزايا كاميرا الأشعة تحت الحمراء على الموجات القصيرة :

اختراق طبقة الطلاء التصوير : عندما ع فيلم أو طبقة معدنية المغلفة على سطح رقاقة ، قطع الأخدود يمكن عرضها بوضوح .

حافة لدغ الكشف : من خلال تحليل الموجات القصيرة صورة الأشعة تحت الحمراء حافة الحدة ، وتحديد عملية القطع الصغيرة لدغ ، لتجنب التعبئة والتغليف عندما تسبب ماس كهربائى .

قطع الكفاءة الأمثل : جنبا إلى جنب مع آلة الرؤية الخوارزمية ، قوة الليزر و سرعة القطع يتم تعديلها في الوقت الحقيقي ، مما يقلل من الوقت قطع رقاقة واحدة بنسبة 30 ٪ .

التصوير الحراري و تشخيص الأعطال

توزيع درجة الحرارة من أجهزة أشباه الموصلات في عملية العمل مباشرة يعكس موثوقيتها . يمكن تحقيق وظائف التصوير الحراري من كاميرا الأشعة تحت الحمراء على الموجات القصيرة :

ارتفاع درجة حرارة المنطقة لتحديد المواقع : التقاط الفرق في درجة الحرارة من 0.1 درجة مئوية على سطح الجهاز ، والعثور على بقعة ساخنة المحلية من جهاز السلطة .

المقاومة الحرارية التحليل : بمقارنة بيانات التصوير الحراري تحت ظروف عمل مختلفة ، المقاومة الحرارية بين رقاقة يشع الركيزة هو كمي .

الحياة التنبؤ : إنشاء نموذج العلاقة بين درجة الحرارة و وقت الفشل ، والإنذار المبكر من احتمال الفشل ، وإطالة عمر الجهاز .

المزايا التقنية : ثلاثة اختراقات في الدقة والكفاءة والقدرة على التكيف

عالية الدقة تحديد العيوب :

على أساس InGaAs البؤري كاشف الصفيف ، على الموجة القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء يمكن تحقيق submicron القرار المكانية ، جنبا إلى جنب مع تكنولوجيا البصريات التكيفية ، يمكن التغلب على الاضطرابات الجوية ، حتى في ظل الظروف الجوية المعقدة ، يمكن الحصول على صورة عالية الدقة رقاقة عيب . . . . . . .

عالية الكفاءة اختبار عدم الاتصال :

فائدة نموذج يمكن أن تقلل من وقت الكشف عن دقيقة واحدة الصف ، لا تحتاج إلى تدمير العينة ، و هو مناسب على الخط الكشف عن خط الانتاج الشامل . على سبيل المثال ، في رقاقة الفرز ، موجة قصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء يمكن أن تكون جنبا إلى جنب مع سرعة عالية الفرز مناور لتحقيق أكثر من 10 قطعة في الثانية الكشف والفرز السرعة .

التكيف البيئي

موجة قصيرة الأشعة تحت الحمراء ضوء يمكن أن تعمل بثبات في ورشة عمل خالية من الغبار أو في بيئة مفتوحة بسبب تأثير الضباب والغبار . وبالإضافة إلى ذلك ، فإن القدرة على الرؤية الليلية يمكن أن تبقي على النقيض عالية التصوير تحت ظروف الإضاءة المنخفضة ، وتلبية متطلبات الإنتاج على مدار 24 ساعة .

قيمة الصناعة : من التحكم في التكلفة والابتكار التكنولوجي

خفض تكاليف التصنيع :

من خلال الكشف عن الخلل في وقت مبكر ، فإنه يمكن تجنب سوء رقاقة من التدفق إلى الخطوة التالية ، والحد من تكاليف إعادة صياغة في التعبئة والتغليف واختبار المرحلة . ووفقا للاحصاءات ، بعد استخدام الموجات القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء ، متوسط تكلفة تصنيع أشباه الموصلات الشركات يمكن أن تقلل من 15 ٪ - 20 ٪ .

دفع عملية التحسين :

في الوقت الحقيقي التغذية المرتدة من العيوب في رقاقة تجهيز البيانات ، وتوفير أساس تعديل البارامترات التكنولوجية ، وتسريع عملية جديدة من البحث والتطوير والإنتاج الضخم . على سبيل المثال ، في الأشعة فوق البنفسجية القصوى الطباعة الحجرية ( EUV ) العملية ، على الموجة القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء يمكن رصد مقاومة للضوء طلاء التوحيد ، وتحسين دقة الطباعة الحجرية .

تشجيع الارتقاء بالصناعة :

مع ظهور الجيل الثالث من مواد أشباه الموصلات ، مثل كربيد السيليكون ، نيتريد الغاليوم ، موجة قصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء لديها آفاق واسعة التطبيق في الكشف عن أشباه الموصلات ذات فجوة الحزمة واسعة . . . . . . . حساسية عالية و استجابة طيفية واسعة يمكن أن تلبي متطلبات صارمة من المواد الجديدة على معدات الاختبار .

خامساً - آفاق المستقبل : الاتجاهات في مجال الاستخبارات والتكامل

منظمة العفو الدولية تمكين تصنيف العيوب :

جنبا إلى جنب مع عمق التعلم الخوارزمية ، على الموجة القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء يمكن التعرف تلقائيا على أنواع العيوب مثل الشقوق والشوائب والثقوب ، الخ .

التصوير متعدد الأطياف الانصهار :

من خلال دمج أجهزة الاستشعار متعددة الأطياف مثل الضوء المرئي ، موجة قصيرة الأشعة تحت الحمراء ، الأشعة تحت الحمراء المتوسطة الموجة ، وما إلى ذلك ، الكشف عن العيوب السطحية والداخلية رقاقة يمكن أن تتحقق في وقت واحد ، وبالتالي توفير بيانات أكثر شمولا لتقييم الجودة .

التصغير و النقل :

جنبا إلى جنب مع دمج التكنولوجيا ممس ، تكنولوجيا CMOS ، وحجم استهلاك الطاقة من الموجات القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء سوف تنخفض .

الموجة القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء ، باعتبارها أداة جديدة في مجال أشباه الموصلات التفتيش ، هو تشكيل نمط الصناعة مع المزايا التقنية . من رقاقة الترابط إلى قطع الليزر ، من التصوير الحراري إلى خطأ التشخيص ، تطبيق المشهد هو توسيع باستمرار ، مما يوفر ضمانة قوية عالية الدقة ، وكفاءة عالية وموثوقية عالية في تصنيع أشباه الموصلات . جنبا إلى جنب مع الابتكار التكنولوجي المستمر وخفض التكاليف ، على الموجة القصيرة كاميرا الأشعة تحت الحمراء من المتوقع أن تلعب دورا رئيسيا في المزيد من المجالات ، وتعزيز صناعة أشباه الموصلات إلى مستوى أعلى .