هيليوس 5 ليزر مزدوجة شعاع المجهر pfib

Thermo Scientific ™ Helios ™ 5 . تحليل حجم كبير 3D مع الليزر PFIB ، وإعداد عينة GA الحرة ، والدقة بالقطع الصغيرة . مع مبتكرة ومتكاملة تماما ليزر الفيمتو ثانية ، فإنه يوفر معدل إزالة المواد ونوعية قطع السطح ، وهو جهاز ذو جودة عالية دون سطح 3D توصيف في إطار القرار نانومتر النطاق ملليمتر .

ليزر الفيمتو ثانية pfib

حجم كبير من زوي : 2000 * 2000 * 1000 ميكرومتر مكعب
شعاع كبير من زوي : ~ 1mA ( أي ما يعادل شعاع ايون الحالية )
قطع شعاع : 74 μ A
شعاع بقعة الحجم : 15 ميكرون
الليزر التكامل : 3 الحزم ( SEM / PFIB / ليزر ) متكاملة تماما في غرفة العينة ، ولها نفس صدفة نقطة .
تحقيق دقيق ومتكرر قطع الكلمات و تمثيل ثلاثي الأبعاد .
التوافقية الأولى : الطول الموجي 1030 نانومتر ( الأشعة تحت الحمراء ) ، عرض النبضة < 280 م
التوافقية الثانية : الطول الموجي 515 نانومتر ( الأخضر ) ، عرض النبضة < 300 م
البصريات الالكترونية
د = 4 ملم ( نفس SEM / فيبوناتشي ) .
العدسة الشيئية متغيرة ( كهربائية )
استقطاب : أفقي / عمودي
* معدل التكرار : 1 كيلو هرتز ~ 1 ميغاهيرتز
◆ شعاع دقة تحديد المواقع : < 250 نانومتر
حماية يربك : التلقائي SEM / PFIB حماية يربك
برامج
برامج التحكم بالليزر
تدفق العمل من الليزر 3D التقطيع المستمر
◆ EBSD الليزر 3D تقطيع مستمر سير العمل
* ليزر برمجة التحكم النصي *
السلامة : التعشيق الليزر الدرع ( فئة 1 الليزر السلامة )

سمات & إستعمال :

◆ ملليمتر عبر الباب إزالة المواد ، وإزالة المواد معدل نموذجي جا + فيبوناتشي 15 ، 000 مرات أسرع
◆ من خلال جمع أكبر حجم في وقت أقصر لتحقيق تحليل البيانات الإحصائية ذات الصلة تحت السطح و 3D
◆ دقيقة وقابلة للتكرار قطع الموقف ، ثلاثة الحزم عبر نفس النقطة على العينة
◆ من خلال استخراج تيم شريحة أو كتلة تحت سطح 3D التحليل لتحقيق خصائص السطح السفلي بسرعة
تحقيق إنتاجية عالية تجهيز المواد الصعبة مثل غير موصل أو حساسية شعاع ايون
◆ تحقيق سريع وبسيط توصيف العينات الحساسة للهواء ، دون الحاجة إلى نقل العينات بين مختلف الصكوك لإجراء التصوير والحصول على المقطع العرضي
◆ هيليوس 5 منهاج PFIB جميع وظائف موثوق بها للغاية ، بما في ذلك جودة عالية الجاليوم الحرة تيم و APT إعداد العينة ، فضلا عن القدرة على التصوير عالية الدقة